자료실 - HiPace 700 turbo pump

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HiPace 700 turbo pump

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2013.11.12 10:22:31 (*.138.9.207)

70068

분류/Maker	Pfeiffer

manual : Pfeiffer HiPace 700.pdf

TM 700 Electric Drive Unit.pdf

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2014.06.20 09:47:17 (*.138.9.207)

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* Digital IO로 TMP run 하는 방법 : Pin 1의 +24V를 Pin 3, 4, 14에 동시 인가 되도록 구성

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