manual : APC Controller manual(노칼).pdf
노칼코리아 전화 : 031-222-6086~7
1. R1 : Set point reading (응답 예 : S1+7.00)
2. R5 : Pressure reading (응답 예 : P+7.00)
3. R6 : Position reading (응답 예 : V+100.00)
4. R7 : 상태값 표시 (아래는 응답값에 대한 밸브 상태 설명입니다. 가운데 굵은 숫자만 인식하게 하시면 됩니다. ) 응답은 아래와 같습니다.
M020 (밸브 Open 을 의미)
M140 (밸브 Close를 의미)
M100 (밸브의 상태가 Pressure control 이거나 Position control 상태임을 의미)
M0-0 (밸브가 initializing이 되지 않았음을 의미)
챔버 Vent를 시도할 때 Gate valve의 상태는 Close (Sealing)이 되어야 합니다.
장비 소프트웨어상에 R7 명령어를 추가하고 Valve close 상태 (M140) 일때만 Vent동작이 될수 있도록 Interlock을 걸어 놓은 방식을 추천합니다.
만약 밸브가 Fault 상태 이거나 아직 Initializing이 안된 상태 일 때는 상태 값 M0-0 이 올라오므로 밸브의 이상 유무를 체크 할 수 있습니다.
추천 사항 : ‘RESET’ 버튼은 RESET 명령어를 입력 할 수 있도록 변경하고 ‘Initializing’ 버튼을 새롭게 만들어서 J1 명령어가 전달 될 수 있도록 수정 하기를 추천함. 동일 문제 발생시에 RESET 버튼을 누르고 약 7초 후에 Initializing (J1) 버튼을 누르는 방식으로 응급 조치를 권장함.
-----------------------------------------------------------------------
아래는 명령어 관련 정리 내용입니다.
RESET ? 밸브 컨트롤러의 파워 보드를 reset 함으로서 컨트롤러의 전원을 껐다 켜는 방식과 동일한 결과를 얻을 수 있음. Valve Fault 발생시에 대체적으로 RESET 명령어 입력 후 J1 명령어를 입력해 줌으로써 밸브를 다시 정상화 시킬 수 있음.
J1 ? Short initializing (homing, 밸브가 Close로만 움직이고 Initializing 완료) : 단순 power reset후 주로 실행. 밸브가 어떤 위치에 있던간에 Close로만 움직이고 Initializing 을 완료. 원래 Close 위치에 있었더라면 그 자리에서 Close 위치만 확인하고 Initializing 완료. Short initializing은 Long initializing 에서 얻은 포지션 데이터를 기반으로 수행됨.
J4 ? Long initializing (homing, 밸브가 Open으로 움직였다가 다시 Close로 와서 Initializing 완료) : 밸브 설치 후 최초 initializing이나 밸브 파트 재 조립 후에는 반드시 J4를 실행 시켜야 함(자주 사용하는 기능은 아님). 밸브가 어느 정도 열려 있을 때 컨트롤러상의 파란색 버튼 2개(open/close)를 동시에 눌러 줌으로서 Long initializing 을 실행 할 수 있음. 이로 인해 GUI상에는 보통 J1 버튼만 만들어 놓는 경우가 많음.
C ? Valve Close (컨트롤러 상의 Close 버튼을 누른 것과 동일)
O ? Valve Open (컨트롤러 상의 Open 버튼을 누른 것과 동일)
H ? Valve moving hold (포지션 고정)
Vxx.xx ? Valve position control, 예를 들어 밸브를 50%만 열게 하고 싶으면 “V50”을 입력하시면 됩니다. 35.2%를 셋팅 하고 싶으시면 V35.2를 입력하면 됩니다.
S1xx.xx & D1 ? Valve Pressure control, 먼저 T11을 입력하면 “Pressure control mode”가 됩니다. S1xx.xx는 압력 값 셋팅 입니다(set point). 셋팅 값은 전체 값(0~10V, 0~100%) %로 입력되게 되어 있습니다. 예를 들어 게이지에 5V동작을 요청하고자 한다면 50%를 입력해야 합니다. ‘S15’을 입력 하게 되면 Pressure 값이 셋팅이 되고 그 이후에 ‘D1’을 입력하면 Pressure control을 시작합니다.
사용 예) 1Torr(1000mTorr) 게이지 사용 -> 150mTorr를 조절하고자 함 -> 150mTorr = 15% (150/1000*100) = 1.5V (total 10V) -> S1xx.xx (압력조절 명령어) = S115 입력 -> D1 -> 150mTorr 조절 시작
R1 : Set point reading (응답 예 : S1+7.00)
R5 : Pressure reading (응답 예 : P+7.00)
R6 : Position reading (응답 예 : V+100.00)
R7 : 상태값 표시 (아래는 응답값에 대한 밸브 상태 설명입니다. 가운데 굵은 숫자만 인식하게 하시면 됩니다. )
M020 ? Open
M140 ? Close
M100 ? Pressure/Position control
컨트롤러 초기화시 Close 상태로 유지하도록 하는 방법
1. R38 명령을 전송하여 버전 피드백이 오는 확인
2. IVC1 명령 전송 -> INIT VALVE TO CLOSED 라는 피드백 메시지를 받으면 성공
3. RESET 명령 전송 -> RESETTING APC 라는 피드백 메시지를 받으면 성공
4. J1 명령 전송해서 Close 로만 움직이며 Initial 종료후 위치가 0%인 것을 확인하면 정상
1. R1 : Set point reading (응답 예 : S1+7.00)
2. R5 : Pressure reading (응답 예 : P+7.00)
3. R6 : Position reading (응답 예 : V+100.00)
4. R7 : 상태값 표시 (아래는 응답값에 대한 밸브 상태 설명입니다. 가운데 굵은 숫자만 인식하게 하시면 됩니다. ) 응답은 아래와 같습니다.
M020 (밸브 Open 을 의미)
M140 (밸브 Close를 의미)
M100 (밸브의 상태가 Pressure control 이거나 Position control 상태임을 의미)
M0-0 (밸브가 initializing이 되지 않았음을 의미)
챔버 Vent를 시도할 때 Gate valve의 상태는 Close (Sealing)이 되어야 합니다.
장비 소프트웨어상에 R7 명령어를 추가하고 Valve close 상태 (M140) 일때만 Vent동작이 될수 있도록 Interlock을 걸어 놓은 방식을 추천합니다.
만약 밸브가 Fault 상태 이거나 아직 Initializing이 안된 상태 일 때는 상태 값 M0-0 이 올라오므로 밸브의 이상 유무를 체크 할 수 있습니다.
추천 사항 : ‘RESET’ 버튼은 RESET 명령어를 입력 할 수 있도록 변경하고 ‘Initializing’ 버튼을 새롭게 만들어서 J1 명령어가 전달 될 수 있도록 수정 하기를 추천함. 동일 문제 발생시에 RESET 버튼을 누르고 약 7초 후에 Initializing (J1) 버튼을 누르는 방식으로 응급 조치를 권장함.
-----------------------------------------------------------------------
아래는 명령어 관련 정리 내용입니다.
RESET ? 밸브 컨트롤러의 파워 보드를 reset 함으로서 컨트롤러의 전원을 껐다 켜는 방식과 동일한 결과를 얻을 수 있음. Valve Fault 발생시에 대체적으로 RESET 명령어 입력 후 J1 명령어를 입력해 줌으로써 밸브를 다시 정상화 시킬 수 있음.
J1 ? Short initializing (homing, 밸브가 Close로만 움직이고 Initializing 완료) : 단순 power reset후 주로 실행. 밸브가 어떤 위치에 있던간에 Close로만 움직이고 Initializing 을 완료. 원래 Close 위치에 있었더라면 그 자리에서 Close 위치만 확인하고 Initializing 완료. Short initializing은 Long initializing 에서 얻은 포지션 데이터를 기반으로 수행됨.
J4 ? Long initializing (homing, 밸브가 Open으로 움직였다가 다시 Close로 와서 Initializing 완료) : 밸브 설치 후 최초 initializing이나 밸브 파트 재 조립 후에는 반드시 J4를 실행 시켜야 함(자주 사용하는 기능은 아님). 밸브가 어느 정도 열려 있을 때 컨트롤러상의 파란색 버튼 2개(open/close)를 동시에 눌러 줌으로서 Long initializing 을 실행 할 수 있음. 이로 인해 GUI상에는 보통 J1 버튼만 만들어 놓는 경우가 많음.
C ? Valve Close (컨트롤러 상의 Close 버튼을 누른 것과 동일)
O ? Valve Open (컨트롤러 상의 Open 버튼을 누른 것과 동일)
H ? Valve moving hold (포지션 고정)
Vxx.xx ? Valve position control, 예를 들어 밸브를 50%만 열게 하고 싶으면 “V50”을 입력하시면 됩니다. 35.2%를 셋팅 하고 싶으시면 V35.2를 입력하면 됩니다.
S1xx.xx & D1 ? Valve Pressure control, 먼저 T11을 입력하면 “Pressure control mode”가 됩니다. S1xx.xx는 압력 값 셋팅 입니다(set point). 셋팅 값은 전체 값(0~10V, 0~100%) %로 입력되게 되어 있습니다. 예를 들어 게이지에 5V동작을 요청하고자 한다면 50%를 입력해야 합니다. ‘S15’을 입력 하게 되면 Pressure 값이 셋팅이 되고 그 이후에 ‘D1’을 입력하면 Pressure control을 시작합니다.
사용 예) 1Torr(1000mTorr) 게이지 사용 -> 150mTorr를 조절하고자 함 -> 150mTorr = 15% (150/1000*100) = 1.5V (total 10V) -> S1xx.xx (압력조절 명령어) = S115 입력 -> D1 -> 150mTorr 조절 시작
R1 : Set point reading (응답 예 : S1+7.00)
R5 : Pressure reading (응답 예 : P+7.00)
R6 : Position reading (응답 예 : V+100.00)
R7 : 상태값 표시 (아래는 응답값에 대한 밸브 상태 설명입니다. 가운데 굵은 숫자만 인식하게 하시면 됩니다. )
M020 ? Open
M140 ? Close
M100 ? Pressure/Position control